思瑞测量技术（深圳）有限公司

一、技术参数

行程范围：X轴------500 mm Y轴------600 mm Z轴------400 mm

结构型式：活动桥式

传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm

机台：高精度花岗岩平台

使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m 温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空气流量：100 L/min – 120 L/min

整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m

机台承重：500 kg

整机重量：850

二、产品特点

1、整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。

2、三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。

3、三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。

4、长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。

5、控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。